ออเรกอน--15 เม.ย.--พีอาร์นิวส์ไวร์-เอเชียเน็ท
เมื่อวานนี้บริษัทเอฟอีไอ คอมพานีได้เปิดตัวอุปกรณ์ตรวจสอบความผิดพลาด ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็คตรอนรุ่น XL810 (เอสอีเอ็ม) ในงานแสดงสินค้าเซมิคอน ยูโร ป้าที่กรุงเจนีวา สวิตเซอร์แลนด์ ซึ่งนับเป็นการเปิดศักราชใหม่ของบริษัทดังกล่าว ที่ตั้งมา นานถึง 26 ปี นอกจากนี้ เอฟอีไอระบุว่า ทางบริษัทได้รับคำสั่งซื้อเครื่องเอสอีเอ็ม 2 เครื่องจากบริษัทซีเมนส์ คิดเป็นมูลค่ามากกว่า 2 ล้านดอลล่าร์ โดยจะมีการติดตั้งที่สาขา ของซีเมนส์ในอังกฤษและเยอรมนี เพื่อใช้ตรวจสอบความผิดพลาดอย่างละเอียด
สำหรับเครื่องรุ่น XL810 ที่มีประสิทธิภาพสูงนี้เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบความผิด พลาดขนาด 200 มิลลิเมตรรุ่นแรก ที่เลนส์กล้องมีความสามารถในการขยายในขนาด 3 นาโนมิเตอร์ โดยจะให้ทั้งภาพที่มีความชัดสูงและมีกำลังวิเคราะห์ เพื่อเป็นการสนับสนุนการ ใช้เทคโนโลยีขนาด 0.18 ไมครอนที่จะมีขึ้นต่อไป ทั้งนี้ นอกจากธุรกิจเลนส์กล้องแล้ว ทาง เอฟอีไอยังใช้สาขาเทคโนโลยีการตรวจหาด้วยเลนส์ ในการหารายละเอียดจากการตรวจ สอบที่เหนือกว่า และภาพในมุมลึกของภาพจากกล้องเอสอีเอ็ม ซึ่งนับเป็นสิ่งสำคัญต่อกระบวน การตรวจสอบด้วยสายตา ที่รวมถึงการวิเคราะห์ข้ามกลุ่มด้วยเลนส์ชั้นสูง
ทั้งนี้ ความสามารถในการตรวจหาส่วนบกพร่องที่มีหน่วยเล็กขนาดบิทของ เครื่องรุ่น XL810 นั้น จะช่วยให้ผู้ใช้สามารถใช้ข้อมูลทดสอบทางไฟฟ้าในการตรวจหา หน่วยความจำที่ผิดพลาดบนเวเฟอร์ DRAM ที่มีความหนาแน่นสูงได้โดยอัตโนมัติ โดยช่าง เทคนิคที่ใช้เครื่องดังกล่าว จะสามารถติดตั้งและหาข้อผิดพลาดของกลไกได้ถึงระดับเซลล์ ได้อย่างรวดเร็ว รวมทั้งสามารถนำข้อมูลเหล่านั้นไปใช้ปรับปรุงด้านกระบวนการได้ด้วย
ด้านดร.ลินวู้ด ดับบลิว สแวนสัน ประธานเอฟอีไอและหัวหน้านักวิทยาศาสตร์ เปิดเผยว่า อุปกรณ์นี้เป็นผลิตภัณฑ์ที่ได้จากความเป็นผู้นำทางด้านเทคโนโลยีกล้องจุลทรรศน์ อิเล็คตรอนสแกนนิ่งระดับโลกของฟิลิปส์ อิเล็คตรอน ออปติกส์ (พีอีโอ) ผสมผสานกับ ประสบการณ์อันยาวนานทางตลาดเซมิคอนดักเตอร์ของเอฟอีไอ ทั้งนี้ เอฟอีไอและพีอีโอได้ ร่วมมือกันอย่างใกล้ชิดมานาน 6 ปี ก่อนที่จะรวมกำลังการผลิตกันเมื่อเดือนก.พ.ที่ผ่านมา โดยทั้งสองได้ร่วมกันพัฒนาฮาร์ดแวร์และซอฟท์แวร์เพื่อให้เอฟอีไอสามารถใช้เครื่องเอสอี เอ็มในชุด XL-series ของฟิลิปส์เป็นพื้นฐานสำหรับระบบเอฟไอบี และระบบ DualBeam หรือ Ion and electron beam
สำหรับบริษัทฟิลิปส์ อินดัสเทรียล อิเล็คทรอนิคส์นั้น ถือหุ้นสามัญของบริษัท ใหม่อยู่ 55 % โดยมีการใช้สถานีทำงานของเอฟไอบีในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ สำหรับการปรับเปลี่ยนการออกแบบ, การวิเคราะห์ข้อผิดพลาด และการวิเคราะห์กระบวน การ ส่วนผู้ใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็คตรอนทรานสมิชชั่นและสแกนนิ่งรายสำคัญนั้น ได้แก่ สถา บันวิจัย, โรงพยาบาล, มหาวิทยาลัย และบริษัทอุตสาหกรรมด้านเซมิคอนดักเตอร์, เวช ภัณฑ์, เคมีภัณฑ์, โลหะและเหมืองแร่ โดยเอฟอีไอมีพนักงานราว 800 คนทั่วโลก และมี ฐานการผลิตอยู่ทั้งในสหรัฐและยุโรป--จบ--
--บิสนิวส์แปลและเรียบเรียง-ชว/กก--